東海采用CVD法生產(chǎn)的Solid SiC產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于離子刻蝕等半導(dǎo)體設(shè)備中,我們的產(chǎn)品有以下幾大優(yōu)勢: 1、無熱變形 2、無氣體釋放 3、良好的化學(xué)穩(wěn)定性 4、相比硅材料壽命長